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低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質四態(tài)，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的泊頭等離
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